• <tr id="assi0"><button id="assi0"></button></tr>
  • <td id="assi0"><li id="assi0"></li></td>
  • 薄膜技術領域的熱分析應用


    薄膜的物理性質諸如相變材料、光盤介質、熱電材料、發光二極管(LED)、燃料電池、相變存儲器、平板顯示器以及半導體工業中的應用越來越重要。


          所有這些行業都使用單層或多層設置,以賦予設備特定的功能。由于薄膜的物理性質與塊體材料有很大的不同,因此必須過匹配的表征裝置獲得其厚度和溫度相關的特性。由于高長寬比和沉積技術,會產生額外的邊界和表面散射,導致傳輸性能下降。


    由于測量要求可能不同于散裝材料,因此需要使用不同的計量方法。


    薄膜材料的熱導率和電導率通常比其大塊材料狀態時要小,有時可能大得多。例如,在室溫下,20nm Si薄膜或納米線的導熱系數可以比其大塊單晶的導熱系數小5倍。對于100 nm的Au,可以看出,輸運特性幾乎減半。一般說來,輸運特性不僅與溫度有關,而且與厚度密切相關。


    這種熱導率降低通常有兩個基本原因。首先,與塊狀單晶相比,許多薄膜合成技術會導致更多的雜質、無序和晶界,所有這些都會降低熱導率。第二,由于邊界散射、聲子泄漏和相關的相互作用,即使是原子上完美的薄膜也會降低熱導率。這兩種基本機制通常對面內和跨面輸運的影響不同,因此,即使對塊體形式具有各向同性導熱系數的材料,薄膜的導熱系數通常是各向異性的。



    TF-LFA 薄膜激光導熱儀
    ?基于已實現的激光閃射技術,LINSEIS TF-LFA 薄膜導熱測試儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質。
    了解詳情
    在線留言:
    公司電話:
    021-50550642
    微信公眾號:
    欧美亚洲综合久久偷偷人人